天津经济技术开发区成立于1984年
1996年先后设立三个区外小区: 微电子（西青）工业区、逸仙科学工业园、化学工业区
2000年在天津开发区内设立--出口加工区
2003年天津开发区新扩区域--西区
2003年设立区外小区--微电子（津南）工业区